放电过程中虽低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子净化器内部装有独特的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的有害气体被电场内所产生的臭氧所杀菌，并去除了异味，有害气体被除掉,达到废气处理的目的。

      吸附催化净化处理装置是一种干式废气处理设备。由箱体和装填在箱体内的吸附单元组成，吸附单元根据废气处理要求添加催化剂达到进一步去处异味气体的目的。控制系统主要用来控制系统开机、停运，并对系统运行效果进行检测，反馈系统的运行状态和技术参数，从而使设备处于运行状态，实现无人值守。